成对的动态平行板电容耦合等离子体.pdfVIP

成对的动态平行板电容耦合等离子体.pdf

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描述了具有多个处理站和各个晶片支撑表面的处理腔室。处理站和晶片支撑表面布置成使得存在相等数量的处理站和加热器。RF发生器连接到第一站中的第一电极和第二站中的第二电极。底部RF路径经由第一支撑表面和第二支撑表面之间的连接件形成。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112292755 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 201980039180.5 桑吉夫 ·巴鲁贾　

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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