原创力文档- 0
- 0
- 约2.96万字
- 约 35页
- 2023-05-26 发布于四川
- 举报
本发明提供在微小器件的不良解析中能够高灵敏度地检测异常的半导体检查装置。半导体检查装置具有：试样台(6)，其载置试样；电子光学系统(1)，其对试样照射电子束；测量探针(3)，其与试样接触；测量器(8)，其测量来自测量探针的输出；信息处理装置(9)，其取得与电子束对试样的照射响应的来自测量探针的输出的测量值，信息处理装置设定对试样开始照射电子束的时刻以及将电子束的照射冻结的时刻、在电子束照射到试样的状态下测量器测量来自测量探针的输出的第1测量期间、在电子束的照射被冻结之后测量器测量来自测量探针的输
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112313782 A
(43)申请公布日 2021.02.02
(21)申请号 201880095003.4 (51)Int.Cl.
文档评论（0）