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2023-05-27 发布于四川
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一种基于空间分步式移频照明的缺陷检测系统.pdf

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本发明公开了一种基于空间分步式移频照明的缺陷检测系统，包括光源、显微物镜、管镜、图像探测器、控制模块和数据处理模块，其中，光源包括垂直照明光源和倾斜照明单元。垂直照明光源和各倾斜照明单元的出射光能够照射到被观测样品上而激发出散射场，散射场经显微物镜收集后再经管镜整形而入射到图像探测器，并由数据处理模块转换成远场强度图。控制模块按时序控制各光源的点亮以及各光源照明下图像探测器对被观测样品散射场信号的采集。数据处理模块通过对被观测样品空间频谱信息的重构，最终实现无论是在透射式照明还是反射式照明条件下

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112326665 A (43)申请公布日 2021.02.05 (21)申请号 202011039692.2 (22)申请日 2020.09.28 (71)申请人之江实验室地址 3

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