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根据本发明的示例性方面，提供了一种装置。该装置包括：微机电MEMS电容器，该MEMS电容器包括两个板和位于两个板之间的间隙；气体输送器，该气体输送器被配置成使气体流过该间隙；以及读出电路，该读出电路被配置为测量MEMS电容器的电容。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112313496 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 201980034357.2 (74)专利代理机构北京中原华和知识产权代理

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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