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本发明公开一种MEMS皮拉尼计及其制作方法、MEMS传感器及电子设备。其中，所述MEMS皮拉尼计包括：基底；绝缘隔热层，所述绝缘隔热层设于所述基底的一表面；以及金属发热体，所述金属发热体设于所述绝缘隔热层背向所述基底的表面。本发明的技术方案能够克服目前皮拉尼计的总体尺寸大、难以集成且不利于小型化发展的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112320750 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 202011243233.6
(22)申请日 2020.11.09
(71)申请人 歌尔
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