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- 2023-05-27 发布于四川
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本发明涉及晶圆抛光液搅拌装置，包括机架、辅助支撑单元、滚筒、搅拌单元、入料单元、出料单元以及动力部。辅助支撑单元组装于机架上，且协同机架以对滚筒的轴向窜动量和径向偏摆量进行限制。借助入料单元、出料单元分别向着滚筒的内腔输入待混合的抛光液、泵出已混合的抛光液。滚筒和搅拌单元均借助于动力部进行驱动。如此，借由内置于卷筒的搅拌单元可以实现对待混合抛光液的扰动，与此同时，待混合抛光液因受到来自于滚筒内侧壁摩擦力作用而发生周向扰动，进而加剧了抛光液的混合强度。另外，搅拌单元和滚筒的自转方向始终保持反向，混
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114984812 A
(43)申请公布日 2022.09.02
(21)申请号 202210662943.5
(22)申请日 2022.06.13
(71)申请人 江苏科技大学
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