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提供废液处理装置，其确保在加工装置的加工区域产生的泡不会向外部泄漏。废液处理装置对从加工装置排出的废液进行精制，该废液处理装置包含：废液收纳容器，其对从加工装置排出的废液进行收纳；废液过滤单元，其对废液收纳容器的废液进行过滤而精制成清水；清水贮水容器，其对通过废液过滤单元进行了过滤的清水进行贮存；纯水精制单元，其将贮存于清水贮水容器的清水精制成纯水；温度调整单元，其将通过纯水精制单元进行了精制的纯水调整成规定的温度；泡用水封式泵，其至少对废液过滤单元中产生的泡(B)进行吸引；以及封水贮水容器，其
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112299618 A
(43)申请公布日
2021.02.02
(21)申请号 20201
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