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本发明公开了一种内部加强的多腔石墨坩埚，包括圆柱形的坩埚体以及上表面带气孔的坩埚盖，坩埚体顶面上设置有带若干焙烧腔的圆形盲槽，每个焙烧腔的内壁上成型有至少一个环形凹槽，环形凹槽内成型有氮化硅陶瓷环，氮化硅陶瓷环的内表面与焙烧腔的内壁处于同一平面，且在该平面上成型有若干竖向设置导气槽，该导气槽上部连接坩埚盖的中空夹层，而在坩埚盖在该夹层中填充有高导热孔隙填充物；而坩埚体的中心位置设置有通槽，并在该通槽下部设置有氮化硅加强座。本发明的石墨坩埚结构紧凑、操作方便，可保证多腔石墨坩埚在连续焙烧过程中的结
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112325637 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 202011214969.0
(22)申请日 2020.11.04
(71)申请人 汨罗市福缘新材料有限公司
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