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本申请公开一种用于半导体加工设备的转运组件及半导体加工设备，半导体加工设备包括反应腔室和基座，基座设置于反应腔室内，所公开的转运组件包括：托盘，托盘的边缘的底面上设有第一定位部，在托盘放置于基座上的情况下，托盘的边缘的下方具有避让空间；传送工具，传送工具包括取放手指，取放手指包括本体部和自本体部沿着托盘边缘延伸形成的延伸部，延伸部可用于伸入反应腔室的传片口并移动至托盘的边缘下方的避让空间，以托起托盘；延伸部朝向托盘的一侧设置有第二定位部，且第一定位部与第二定位部配合实现定位。上述方案能够解决碳化
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112309941 A
(43)申请公布日 2021.02.02
(21)申请号 202011184761.9
(22)申请日 2020.10.29
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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