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本发明提供一种曝光装置以及物品的制造方法。提供在向扫描曝光下的基板上形成图案的图案形成精度这点上有利的技术。通过利用曝光的光扫描基板而曝光所述基板的拍摄区域的曝光装置包括：测量部，在所述基板的扫描过程中，在利用所述曝光的光进行的所述拍摄区域的曝光之前，在多个测量点处测量所述拍摄区域的表面位置；以及控制部，根据所述测量部的测量结果，进行所述基板的倾斜控制，当在所述多个测量点中的预定数量的测量点处测量出表面位置的情况下开始所述基板的倾斜控制，所述控制部根据所述基板的倾斜控制的开始时刻与利用所述曝光的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112327579 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 202010758630.0
(22)申请日 2020.07.31
(30)优先权数据
2019-1439
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