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本申请实施例公开了一种传感器芯片标定测试调度方法和系统,用于调度传感器标定线上多个传感器的芯片载板在多个芯片测试区同时进行标定测试,包括:多个测试区的标定测试是否完成,其它非测试区的芯片载板的工艺温度是否准备好,根据判断结果,决定是否将芯片载板送往下一个温区、以及是否送往下一个温区的某一个温箱。还提供了一种调度系统,能供确保芯片载板按照使用需求在不同温区的不同温箱停留并执行工艺动作,并且停留时间和每个芯片载板的位置信息实时可控可查。同时进行多个芯片标定作业,提高了标定线的生产效率、减少了整线的芯
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112325920 B
(45)授权公告日 2021.11.23
(21)申请号 202011231388.8 (56)对比文件
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