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一种等离子体源(100)，包括：具有开口(14)的外表面(10)，用于从该开口递送等离子体。传送机构被配置为平行于外表面相对于彼此传送衬底(11)和等离子体源，其中，待处理的衬底表面与包含开口的外表面的至少一部分平行。第一瓦片(4‑1)和第二外片(4‑2)布置在工作电极(22)的第一平面内，其中，邻近边缘(12)与第一等离子体收集空间(6‑1)接界，并且第三瓦片(4‑3)布置在工作电极的平行于第一平面的第二平面内，使得第三瓦片与第一平面中的邻近边缘重叠。工作电极和对电极中的至少一个包括所述邻近边
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112313771 A
(43)申请公布日 2021.02.02
(21)申请号 201980041072.1 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限
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