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振动器件、电子设备以及移动体.pdfVIP

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提供振动器件、电子设备以及移动体,具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件以及与振动元件对置地配置的支承基板。支承基板具有:基部,其对振动元件进行支承;支承部,其对基部进行支承;多个梁部,它们连接基部和支承部;以及驱动信号布线、驱动恒定电位布线、检测信号布线以及检测恒定电位布线,它们通过梁部而被引绕到基部和支承部,在规定的梁部处,在振动元件侧的面配置有驱动恒定电位布线和检测恒定电位布线中的至少一方,在相反侧的面配置有检测信号布线。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112311348 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 202010729813.X (22)申请日 2020.07.27 (30)优先权数据 2019-1384

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