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描述了一种用于处理衬底的方法。将气相的第一反应物引入其中具有该衬底的反应室中。允许该第一反应物被吸附到该衬底的表面上。在该第一反应物的流停止之后，从该反应室中清扫该第一反应物的未反应部分。在该第一反应物被吸附到该衬底的表面上的同时，将该第二反应物以气相引入该反应室。该第二反应物包括比例为1∶1∶1的二氢(H2)、含氮反应物和含氧反应物。基于该第二反应物点燃等离子体。该衬底的表面暴露于该等离子体。该等离子体熄灭。从该反应室中清扫气体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112335019 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 201980044136.3 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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