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2023-05-27 发布于四川
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一种基于ZnS基底的多波段耐盐雾减反射膜及其制备方法.pdf

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本发明公开一种基于ZnS基底的多波段耐盐雾减反射膜的制备方法，属于光学薄膜技术领域。利用横跨可见光、近红外光、中波红外波段的多层减反射膜设计理论，结合高折射率基底上多层减反射膜的设计理论，插入增强结合力的匹配层设计，采用非λ/4膜系、非对称等效层实现与基底的折射率匹配。利用离子源发射的高密度氧离子对薄膜进一步氧化，同时利用高能氩离子和氧离子对基板进行预处理。一方面改善基板与膜层界面处的机构特性，使结合层增加基底与TiO2之间的键合力；另一方面，可以将镀膜过程中产生的附着力差的节瘤缺陷在生长之前有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112323023 B (45)授权公告日 2022.03.18 (21)申请号 202011228817.6 C23C 14/02 (2006.01)

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