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辐射发射器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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辐射发射器及其制备方法.pdf

    本发明的示例性实施例涉及制造至少一个辐射发射器的方法，包括的步骤如下，制备堆叠层，其包括第一反射器、有源区、可氧化层和第二反射器；和局部移除所述堆叠层，从而形成至少一个台面，其中至少一个台面包括第一反射器、有源区、可氧化层和第二反射器，其特征在于在局部移除堆叠层并形成至少一个台面之前或之后，执行以下步骤：在堆叠层内部，每个辐射发射器垂直蚀刻至少三个盲孔，其中所述盲孔至少垂直延伸至可氧化层，并暴露所述氧化层；然后通过盲孔的侧壁横向氧化可氧化层，其中氧化面从每个孔径向外移动，并且在整个可氧化层被氧化

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112382927 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011254260.3 (22)申请日 2020.11.11 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物

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