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一种高纯四氟化硅气体的纯化方法及纯化系统.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种高纯四氟化硅气体的纯化方法及纯化系统.pdf

    本发明提供了高纯四氟化硅的纯化方法，包括：S1)将纯度为99.9％的四氟化硅粗品经氟化剂吸附处理后，得到除去氟硅醚后的气体；所述氟化剂为负载型过渡金属氟化盐；S2)将所述除去氟硅醚后的气体在活性炭存在的条件下与碳酰氯反应，得到除水后的气体；S3)将所述除水后的气体进行低温精馏，得到高纯四氟化硅。与现有技术相比，本发明将粗品四氟化硅通过金属氟化盐以及碳酰氟双重作用，先经吸附氟化，然后低温精馏的方法，除去氟硅醚化合物杂质和水分，该方法可实现四氟化硅产物的提纯，可有效除去四氟化硅中的氟硅醚杂质和水分，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112374503 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011306324.X (22)申请日 2020.11.19 (71)申请人 苏州

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