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2023-05-28 发布于四川
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本发明公开了一种液态金衬底表面二硫化钨单晶生长方法。步骤是：三氧化钨粉末置于石英舟中，将金衬底置于蓝宝石衬底表面，再置于石英凹槽中，将石英管放入系统抽真空，对系统进行升温，达到生长温度后对硫粉进行加热，向系统内通入硫蒸汽，开始进行WS2单晶的生长。以三氧化钨作为原料，利用硫蒸气在高温下对三氧化钨的硫化进行硫化钨的生长，生长过程中采用金箔作为衬底，将金衬底加热至1050℃，金衬底的熔点1040℃，在金熔点附近，金箔表面熔化呈液体状，在此状态下多晶金表面的晶界消失，衬底表面状态高度一致，WS2在此衬

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112359420 A (43)申请公布日 2021.02.12 (21)申请号 202011428845.2 (22)申请日 2020.12.09 (71)申请人中国电子科技集团公司第四十六研

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