晶圆传输方法.pdfVIP

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2023-05-28 发布于四川
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晶圆传输方法.pdf

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本申请提供了一种晶圆传输方法，在一个晶圆传输周期中加入传输室除尘步骤，且除尘步骤是在第一密封阀与第二密封阀均关闭的期间进行的，可以是在晶圆在反应室中反应生长的期间，也可以是在整个传输开始之前，也可以二者兼有，传输室除尘时，向传输室通入惰性气流，将空间内的灰尘杂质吹起来成为悬浮状态，然后再将空间内的气体与杂质的混合物负压抽走，极大程度地降低传输腔内灰尘和杂质的浓度，避免传输腔室内灰尘和杂质的累积，使传输室内始终处于干净的状态。解决了现有技术中传输室中积累的灰尘和杂质影响晶圆表面质量的问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116159809 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202211699392.6 (22)申请日 2022.12.28 (71)申请人深圳市纳设智能装备有限公司地址