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本申请涉及一种可视化的激光加工系统及方法。包括OCT模块,被配置为:向样品的表面射出测量光,向反射镜射出参考光,接收样品的表面对测量光反射形成的第一反射光,以及接收反射镜对参考光反射形成的第二反射光,并将第一反射光和第二反射光形成相干光信号;信号处理模块被配置为:接收相干光信号,将相干光信号转换为数字信号,从数字信号提取用于表达相干光信号强度的强度信号,根据强度信号生成样品的表面的可视三维图像,并根据可视三维图像获取样品的表面的粗糙度;加工模块被配置为:射出作用于样品的表面的激光,以及,响应于信
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115815792 A
(43)申请公布日 2023.03.21
(21)申请号 202310125439.6 B23K 26/70 (2014.01)
(22)申请日 2023.02.
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