1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

反应腔室.pdfVIP

  • 12
  • 0
  • 约1.45万字
  • 约 15页
  • 2023-05-28 发布于四川
  • 举报

反应腔室.pdf

    一种反应腔室，包括反应石英管(22)、衬管(25)和进气弥散管(28)；其中，衬管(25)设于反应石英管(22)内，用于容纳硅片(27)，进气弥散管(28)通过设于衬管(25)端部的进气孔(251)插设于衬管(25)内，进气弥散管(28)的至少一端用于连接至气源，进气弥散管(28)的管壁上设有多个出气孔(288)。该反应腔室有利于工艺气体在衬管内均匀分布，提高衬管内部的工艺均匀性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110527987 A (43)申请公布日 2019.12.03 (21)申请号 20181

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >