原创力文档- 0
- 0
- 约1.47万字
- 约 16页
- 2023-05-28 发布于四川
- 举报
一种半导体结构的形成方法，包括：提供待刻蚀层；在待刻蚀层上形成若干牺牲层，相邻的牺牲层之间至少具有一个第一槽以及第二槽；在牺牲层的侧壁和顶部表面和待刻蚀层的顶部表面形成第一侧墙；在第一侧墙表面形成第二侧墙，且第二侧墙填充满第一槽；对第二侧墙进行氧化处理以形成氧化层；去除氧化层，在第一槽内形成保留部；回刻蚀第一侧墙，直至暴露出待刻蚀层的顶部表面为止；去除牺牲层，在待刻蚀层上形成第一图形化结构；以第一图形化结构为掩膜刻蚀待刻蚀层形成鳍部。通过氧化处理使得第二侧墙被氧化形成的氧化层厚度保持均匀。以保证
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116169019 A
(43)申请公布日 2023.05.26
(21)申请号 202111417025.8
(22)申请日 2021.11.25
(71)申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限
您可能关注的文档
- 一种基于地聚合物人工骨料的高强高韧纤维混凝土及其制备方法.pdf
- 一种空天地一体化场景下的服务功能链部署方法.pdf
- 一种安全度高的恒压调光灯具及使用其的短路保护方法.pdf
- 图像处理方法、装置、电子设备及存储介质.pdf
- 一种阻燃聚氨酯材料及其制备方法和应用.pdf
- 用户端设备升级方法、电子设备、计算机可读存储介质.pdf
- 一种连续工业化生产高分子量粗PGA的系统和方法.pdf
- 一种大规模工业化连续生产PGA的系统与方法.pdf
- 桌面空调器.pdf
- 一种反射率的测量方法、激光雷达装置及存储介质.pdf
- JJF 2445-2026IMT-2020(5G)移动通信综合测试仪校准规范.pdf
- 计量规程规范 JJF 2460-2026近距离治疗用井型电离室剂量仪校准规范.pdf
- 《JJF 2484-2026基于用户黏着度的大数据推荐算法测评方法》.pdf
- JJF 2484-2026基于用户黏着度的大数据推荐算法测评方法.pdf
- 计量规程规范 JJF 2484-2026基于用户黏着度的大数据推荐算法测评方法.pdf
- JJF 2028.3-2026冲击电压、冲击电流测量系统校准规范 第3部分：冲击用数字记录仪.pdf
- 计量规程规范 JJF 2447-2026数字移动通信综合测试仪多入多出(MIMO)参数校准规范.pdf
- JJF 2447-2026数字移动通信综合测试仪多入多出(MIMO)参数校准规范.pdf
- 《JJF 2447-2026数字移动通信综合测试仪多入多出(MIMO)参数校准规范》.pdf
- 计量规程规范 JJF 2482-2026随机数生成器可信度测评方法.pdf
最近下载
- DL_T 924-2016火力发电厂厂级监控信息系统技术条件.pdf
- “四农普”综合试点清查摸底业务培训班测试测试卷及答案.docx VIP
- 承插型盘扣式脚手架检查验收表.docx VIP
- 脑变性疾病及脱髓鞘疾病影像学诊断.ppt VIP
- 赛普-英才组织管理手册.doc VIP
- 赛普-郑州新长城房地产组织管理手册).doc VIP
- 第8课《中国人失掉自信力了吗》课件（内嵌视频）2026-2027学年统编版语文九年级上册.pptx VIP
- 赛普-朗基地产组织管理手册.doc VIP
- 赛普-三盛集团组织管理手册.doc VIP
- 三碁(SAVCH)S1100系列变频器Vf通用型快速使用手册V1.1.pdf
文档评论（0）