1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种直拉单晶生产中晶体直径检测方法、系统及计算机.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约2.08万字
  • 约 21页
  • 2023-05-28 发布于四川
  • 举报

一种直拉单晶生产中晶体直径检测方法、系统及计算机.pdf

    本发明公开了一种直拉单晶生产中晶体直径检测方法、系统及计算机，属于直拉式单晶硅生产领域，通过获取熔融硅液表面图像，所述图像包括硅单晶棒和硅溶液的固液界面形成的光圈；根据所述图像拟合出圆的直径，对晶体直径进行计算，得出硅单晶直径的测量值；根据硅单晶直径的测量值，调整拉速和热场温度对直径进行控制，使得晶体直径的变化在预设范围内。本发明可以完成不同生产阶段，不同尺寸晶棒的直径测量，圆拟合的方法相较于三点确定圆的方法来说更加准确也更加稳定。对于光圈下方被遮挡的场景，本发明还可以完成精准测量，本发明依靠像

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112381807 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011296961.3 G06T 7/70 (2017.01) (22)申请日 20

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >