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一种储片盒传输装置.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种储片盒传输装置.pdf

    本发明提供一种储片盒传输装置，包括承载板、承载板传输组件和至少两个储片盒固定组件，承载板包括用于承载储片盒的承载面，承载面设置有导向柱，用于实现对承载于承载面的储片盒进行定位；承载板传输组件与承载板固定连接，用于驱动承载板沿传输方向移动；至少两个储片盒固定组件沿传输方向分布在承载板的两侧，且均与承载板固定连接，每个储片盒固定组件用于在传输储片盒时，将储片盒固定在承载板的承载面上。在本发明中，储片盒固定组件能够将储片盒固定在承载板的承载面上，从而在承载板带动储片盒沿传输方向移动时防止储片盒在传输过

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112382597 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011311690.4 (22)申请日 2020.11.20 (71)申请人 北京七星华创集成电路装备有限公

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