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本发明提供了一种MEMS器件AOI检测设备，包括机架、步进顶料模组、传送进出料模组、传送排料模组和三轴自动对焦模组，所述步进顶料模组、传送进出料模组、传送排料模组和三轴自动对焦模组分别安装在所述机架上，所述传送进出料模组包括导轨、滚轮、滚轮驱动装置和托盘，所述滚轮安装所述导轨的侧面，所述滚轮驱动装置与所述滚轮连接，所述托盘架设在所述滚轮上，所述导轨上下贯穿形成导轨槽，所述滚轮对称设置在所述导轨槽的两侧，所述步进顶料模组位于所述导轨槽的下方，所述三轴自动对焦模组位于所述导轨槽的上方，所述步进顶料模
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112357574 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011293172.4
(22)申请日 2020.11.18
(71)申请人 深圳市德斯戈智能科技有限公司
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