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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明提供一种蒸镀掩膜板组件及其制作方法，蒸镀掩膜板组件包括：中空的金属框架；金属掩膜板，具有第一表面以及第二表面，金属掩膜板的所述第二表面的周边固定于所述金属框架上，且所述金属掩膜板具有多个第一图形开口，多个第一图形开口中具有比预设图形开口尺寸大的超规格图形开口；以及金属遮挡部，固定于所述金属框架上，且所述金属遮挡部对应所述超规格图形开口设置并覆盖于所述金属掩膜板的表面，以遮挡所述超规格图形开口超出所述预设图形开口的区域。本发明可以解决现有技术中的金属掩膜板开口尺寸及位置精度难达到需求管控规格
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112376016 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202011327146.9 C23C 14/24 (2006.01)
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