原创力文档- 4
- 0
- 约6.54千字
- 约 7页
- 2023-05-28 发布于四川
- 举报
本发明涉及半导体和太阳能光伏电池技术领域，具体涉及一种双层反应腔体结构，旨在解决现有技术中反应腔使用寿命受限形成的问题，其技术要点在于：包括内层腔体及外层腔体，所述内层腔体与所述外层腔体同轴设置，并且长度相等，所述内层腔体位于所述外层腔体内侧，所述外层腔体长度方向两端分别设置有炉口法兰及炉尾法兰，用于固定所述内层腔体及外层腔体。通过内外两层腔体的设置，使得外层腔体用于抽真空承受压力，所述内层腔体用于承接薄膜生长，不承受真空压力，使用过程中，外层腔体无镀膜层的影响，内层腔体不承受真空压力，可以有效
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112382553 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011281050.3
(22)申请日 2020.11.16
(71)申请人 拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公
文档评论（0）