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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明实施例公开了一种将抛光垫的初始状态转变为亲水性的方法和装置；该方法可以包括：将新抛光垫粘贴至抛光机台的下定盘后，将符合设定硬度以及粗糙度材质制成的转换用晶圆置于抛光头的组装式吸附垫中；利用所述新抛光垫对所述转换用晶圆进行抛光作业；当所述新抛光垫对设定数目的转换用晶圆完成抛光作业后，所述新抛光垫的表面状态转变为亲水性状态。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112372509 B
(45)授权公告日 2022.02.25
(21)申请号 202011256546.5 B24B 37/20 (2012.01)
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