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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明涉及一种氧化钨基陶瓷靶材材料的凝胶注模成型制备方法，包括以下步骤：原料准备：混合粉体、包含高纯氧化钨和掺杂源粉体的混合粉体，掺杂源选自Ti、Mo、V、Al、Li、Zr中的至少三种，所述混合粉体的纯度大于99.95％，平均粒径500nm‑1800nm，D50粒径在200‑750nm；M1、M2、M3、M4、M5的数量关系符合公式：制备预混液；制备高流动性浆料；制备素坯；素坯脱胶；烧结；保温结束取出烧坯；根据需要进行或不进行机加工。该种方法能够制备工艺成本低、导电性良好、纯度较高、晶粒尺寸细小
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112374887 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011266679.0
(22)申请日 2020.11.13
(71)申请人 北京航大微纳科技有限公司
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