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一种突发模式脉冲提升LPP-EUV光源功率的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种突发模式脉冲提升LPP-EUV光源功率的方法.pdf

    一种突发模式脉冲提升LPP‑EUV光源功率的方法，包括步骤：将LPP‑EUV的主驱动二氧化碳激光器调制或转换为突发模式；在突发模式下对脉冲串组成宏脉冲包络进行放大，放大输出的包含多个子脉冲的宏脉冲的脉冲能量大于未经调制的单个脉冲能量；驱动LPP‑EUV的高频大功率二氧化碳激光器的输出平均功率提升，进而提升LPP‑EUV光源功率。本发明有效地减小激光放大过程中带来的非线性效应和增益饱和效应，提升驱动LPP‑EUV的高频大功率CO2激光器的输出平均功率，操作方式简单，科学有效。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112382915 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011317370.X (22)申请日 2020.11.23 (71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究

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