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本发明提供一种靶材组件及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：(1)结合靶材与背板，得到第一靶材组件；(2)机加工步骤(1)所得第一靶材组件，得到第二靶材组件；(3)对步骤(2)所得第二靶材组件的靶材与背板连接处进行防脱落处理，得到靶材组件；步骤(3)所述防脱落处理包括滚花、喷砂与熔射。本发明在传统靶材组件只有喷砂的基础上增加了滚花与熔射，进一步增大了靶材组件边缘的粗糙度，使反溅射的金属原子吸附在靶材边缘表面，长期且有效地解决了溅射过程中发生反溅射物脱落的风险。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112359334 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011133498.0
(22)申请日 2020.10.21
(71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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