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本发明涉及一种检测系统,该检测系统包括读出衬底(10)、与反射器(51)相关联的至少一个热检测器(50)、包括补偿传感器(60)的至少一个补偿器件(30),该补偿传感器与读出衬底热接触,设置在反射器(51)与读出衬底(10)之间,并且位于面向反射器(51)的位置,以便对入射的电磁辐射在光学上不敏感。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112384773 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 201980045055.5 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事
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