1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种基于半自动探针台微控二维材料的方法.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约1.33万字
  • 约 13页
  • 2023-05-28 发布于四川
  • 举报

一种基于半自动探针台微控二维材料的方法.pdf

    本发明一种基于半自动探针台微控二维材料的方法,属于探针台控制技术领域。本发明基于操控杆与步进电机精确控制探针台探针，使操作人员可以更加精确地控制探针在CVD制备的样品表面进行XYZ三个方向的移动，进而得到所需尺寸的二维材料样品，方便转移，为后续的器件制作提供了良好的基础，避免了传统方法处理过程中对二维材料的损害。本发明方法微调的行程为30mm，控制精度可达0.008μm，而且拥有控制效果良好，操作简便，实现了对探针台探针在半导体材料及金属电极表面的高精度微操作定位与控制。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112345320 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011122581.8 (22)申请日 2020.10.20 (71)申请人 江南大学 地址 21

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >