复杂内腔叶片氟离子清洗及铝化物涂层制备的方法及装置.pdfVIP

下载本文档

47
0
约2.24万字
约 18页
2023-05-29 发布于四川
举报
版权申诉

复杂内腔叶片氟离子清洗及铝化物涂层制备的方法及装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种复杂内腔叶片氟离子清洗及铝化物涂层制备的方法及装置，通过CVD对叶片内腔进行氟离子清洗和铝化物涂层制备，叶片内腔氟离子清洗的目的是去除内腔壁残留的氧化物层，为后续化学气相沉积法制备渗铝涂层提供条件。两个过程在CVD设备中一体化完成，无需打开CVD设备，无需取出叶片，不仅可以节约处理时间，还可以避免因中途取出叶片而对叶片造成二次污染，上述方法灵活可控，制备的铝化物涂层的清洁度高，且不会损伤叶片。上述方法尤其适用于具有复杂内腔结构的镍基单晶高温合金导向器叶片及高压涡轮叶片内腔及表面高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112430802 B (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202011071362.1 C23C 16/54 (2006.01)