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提供一种半导体管芯。所述半导体管芯包括半导体衬底、内连结构、多个导电接垫、第一钝化层及第二钝化层。内连结构设置在半导体衬底上。导电接垫设置在内连结构之上且电连接到内连结构。第一钝化层及第二钝化层依序堆叠在导电接垫上。第一钝化层及第二钝化层填充所述导电接垫中的两个相邻的导电接垫之间的间隙。第一钝化层包括第一区段及第二区段。第一区段实质上平行于内连结构的顶表面延伸。第二区段面对导电接垫中的一者的侧表面。第一区段的厚度与第二区段的厚度不同。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112420654 A
(43)申请公布日
2021.02.26
(21)申请号 20191
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