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一种用于确定衬底(W)的目标(330)的位置的传感器装置(300)包括:被配置为将辐射束(310)投影到衬底上的投影光学元件(315;321);被配置为收集从目标散射的测量辐射(325)的收集光学元件(321);被配置为确定测量辐射的至少一部分(355)的光瞳函数变化,并且输出指示其的信号(340)的波前感测系统(335);以及被配置为接收信号,并且至少部分根据所收集的测量辐射和测量辐射的至少一部分的所确定的光瞳函数变化,确定目标的位置的测量系统(350)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112424697 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 201980044059.1 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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