镀膜材料特性.docx

根本薄膜材料 名称：钇〔Y〕 三氧化二钇，〔Y2O3〕使用电子枪蒸镀，该材料性能随膜厚而变化，在 500nm 时折射率约为 1.8.用作铝保护膜其极受欢送,特别相对于 800—12023nm 区域高入射角而言,可用作眼镜保护膜,且 24 小时暴露于湿气中.一般为颗粒状和片状. 透光范围(nm) 折射率(N) 蒸 发 温 度 蒸发源 应用 蒸气成分 500nm 〔℃〕 250--8000 1．79 2300--2500 电子枪 防反膜，铝保 护膜 名称：二氧化铈〔CeO2〕 透光范围(nm)折射率(N)500nm2.35蒸 发 温 度〔℃〕约 2023蒸发源应用杂气排放量400--16000电