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本申请公开了一种微纳光学元件表面缺陷检测方法以及用于在检测中分割粘连的缺陷区域的图像分割方法。所述方法包括：获取微纳光学元件的表面缺陷分布图；对表面缺陷分布图中的缺陷区域进行距离变换，得到灰度图像；进行灰度拉伸，得到拉伸图像；利用分水岭算法进行图像分割，分割得到的多个分割区域形成分割图形；以及对位于两个以上分割区域中的单个缺陷区域进行分割，得到经校正的缺陷区域。根据本发明实施例，基于距离变换、灰度拉伸和分水岭算法对微纳光学元件表面的缺陷区域再次进行分析，对以“腰形”连接区域为特征的粘连的缺陷区域
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112419296 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011408875.7
(22)申请日 2020.12.03
(71)申请人 嘉兴驭光光电科技有限公司
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