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一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-29 发布于四川
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一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法.pdf

    本发明提供了一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法，包括：S1、测量晶圆的表面形貌，根据测得的轮廓高度分布计算晶圆表面的分形维数和分形粗糙度，获得具有纳观粗糙分形特征的晶圆表面轮廓高度函数；S2、构建纳观尺度上具有光滑轮廓的基体，根据晶圆表面的轮廓高度函数建立具有纳观粗糙分形特征的晶圆键合界面分子动力学模型；S3、模拟晶圆界面的动态键合过程，拟合得到键合力关于晶圆法向变形量的函数关系；S4、将晶圆键合界面的法向接触振动等效为单自由度弹簧质量系统，确定晶圆键合界面接触振动固有频率。本发明考虑了

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115828469 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202211697588.1 (22)申请日 2022.12.28 (71)申请人 武汉大学 地址 430072 湖

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