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- 2023-05-29 发布于四川
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本发明提供一种开关谐振器、滤波器及开关谐振器的制作方法，开关谐振器包括衬底、上电极层、下电极层、氮化镓层、氮化镓铝层、第一电极和第二电极；衬底包括通孔区；下电极层设置于衬底的一侧；氮化镓层设置于衬底远离下电极层的一侧，下电极层和氮化镓层在通孔区相接触；氮化镓铝层设置于氮化镓层远离衬底的一侧；上电极层和第一电极位于氮化镓铝层远离衬底的表面，且第一电极与上电极层不接触；第二电极位于氮化镓层的远离第一电极的侧面。本发明将开关集成在滤波器上，无需增加外加开关就可以实现开关谐振器的开和关，可以有效的节约空
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112422098 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011289196.2
(22)申请日 2020.11.17
(71)申请人 迈感微电子（上海）有限公司
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