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本公开提供了一种薄膜渗透检测的多腔测试结构、系统及方法,多腔测试结构包括均设有开口的第一腔体、公共腔体和第二腔体,公共腔体位于第一腔体和第二腔体之间,且公共腔体包括多个相互连通的内腔;第一腔体包括至少一个第一内腔,第一内腔开口与公共腔体的内腔开口位置相对,第二腔体包括至少一个第二内腔,第二内腔开口与公共腔体的内腔开口位置相对;此结构最小模块可同时进行两个试样的测试,且保证两个试验腔的测试条件完全相同,以此最小模块为基础,可将试验腔成扩展成4腔或6腔等2的倍数腔设备结构,结构简单、紧凑,操作方便。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112394020 A
(43)申请公布日 2021.02.23
(21)申请号 202011307922.9
(22)申请日 2020.11.20
(71)申请人 济南兰光机电技术有限公司
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