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本发明提供了一种脉冲反向电镀方法，包括：提供待电镀衬底；将所述待电镀衬底作为阴极并浸入电镀液中；在所述阴极和阳极之间施加周期性重复的电流，每个周期内的电流包括一个正向脉冲电流和一个反向脉冲电流，所述反向脉冲电流为预设电流，且所述反向脉冲电流小于所述正向脉冲电流。由于反向脉冲电流小于正向脉冲电流，因此，可以通过较小的反向脉冲电流来对阴极表面的尖锐的粗大晶粒和潜在缺陷部分进行刻蚀，并修正原子的排列规律，以此控制晶粒的生长方向，形成表面更光滑更标准的单晶结构。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112410835 A
(43)申请公布日
2021.02.26
(21)申请号 20191
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