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本发明涉及一种用于对测量对象的距离和/或厚度进行测量的光学测量装置。第一光源发射穿过第一光波导体的多色测量光,该第一光波导体的端部形成第一共焦孔。成像光学器件将第一共焦孔成像到测量范围中,不同波长聚焦在不同高度。由测量对象反射的测量光被再次成像回到第一共焦孔。接收和评估单元测量由测量对象反射的并穿过第一共焦孔返回的测量光的与波长相关的强度,并从中确定距离和/或厚度。测量装置包括平行于第一光波导体被引导的第二光波导体,并且其端部代表第二共焦孔,第二光波导体的直径大于第一光波导体的直径。接收和评估单
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112432600 A
(43)申请公布日 2021.03.02
(21)申请号 202010758298.8
(22)申请日 2020.07.31
(30)优先权数据
102019122
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