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- 2023-05-30 发布于四川
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本发明涉及用于微机械系统的构件(16)和用于制造构件的方法。构件具有上侧和与上侧相对置的下侧且包括：至少一个第一结构元件，第一结构元件设置在构件(16)的第一区域内并且由至少一个第一间隙(19)界定；以及至少一个第二结构元件，第二结构元件设置在构件(16)的与第一区域(21)不同的第二区域(22)中并且由至少一个第二间隙(20)界定。第一区域(21)通过构件(16)的下侧中的第一凹部(6)限定，其中构件(16)在第一区域(21)中的第一厚度(C)相对于构件(16)在第二区域(22)中的第二厚度(
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112469660 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 201980044068.0 (74)专利代理机构 北京中博世达专利商标代理
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