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本申请涉及蒸镀领域，公开了一种防喷溅蒸镀机构，包括：坩埚，所述坩埚内设有用于容纳蒸镀物的容纳腔，所述容纳腔一端具有开口；多个内置板组，多个所述内置板组位置可调地设在所述容纳腔中、且多个所述内置板组沿所述容纳腔的底部向其开口端间隔分布，每个所述内置板组包括多个间隔设置的内置板，至少一个所述内置板上的移动通道与另外至少一个所述内置板上的移动通道在所述容纳腔开口端的投影不相互重叠。本申请公开的防喷溅蒸镀机构，减少开口部被蒸镀物堵塞的情况发生，还可以防止蒸镀物喷溅到基板上，以提高蒸镀在基板上薄膜的均匀性
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112481584 A
(43)申请公布日
2021.03.12
(21)申请号 20191
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