低电压电子穿透性薄膜.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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一个或多个薄膜保护阴极,所述薄膜由薄的材料层组成,所述薄的材料层允许电子通过,同时防止所述阴极免受源自所述薄膜之外的元素的污染或防止外部设备免受源自所述阴极上或所述阴极附近的元素的污染。所述薄膜可由绝缘体支撑,所述绝缘体进而由偏转层支撑。所述薄膜可相对于所述阴极维持处于正电压,使得在所述阴极与所述薄膜之间产生将由所述阴极发射的电子背离所述阴极加速的电压梯度。所述薄膜位于与所述阴极相距的适当距离处,以允许在所述距离处进行与所述电子的能量匹配的电子透射。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112470250 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980048584.0 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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