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本发明为提供一种铸造单晶硅异质结太阳电池制备方法。包括以下步骤:S1、利用酸性溶液去除表面的油污、金属颗粒以及其他杂质;S2、将清洗后的硅片通过物理气相沉积技术沉积铝膜;S3、在沉积铝膜后的硅片表面沉积一层PSG,并进行一系列退火处理;S4、将处理后的硅片用溶剂去除表面反应层和杂质;再将处理过的硅片进行表面制绒;S5、将处理后的硅片进行非晶硅镀膜;S6、在非晶硅薄膜层的正反面分别生成透明导电膜层;S7、在硅片两面的透明导电膜层上形成栅线电极,从而完成异质结电池片的制作流程。本发明所述工艺加工的铸
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112436063 B
(45)授权公告日 2022.07.15
(21)申请号 202011271814.0 H01L 31/072 (2012.01)
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