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一种浸没式光刻机的温度控制方法及装置.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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一种浸没式光刻机的温度控制方法及装置.pdf

    本发明提供一种浸没式光刻机的温度控制方法及装置，包括：通过热交换器使得PCW与光刻机UPW进行换热，以及利用加热器对UPW加热，以对UPW升温，对UPW温度进行粗调节时，基于检测的三个温度值和UPW温度控制目标确定UPW温度的轨迹、PCW的流量控制模型以及加热器的功率控制模型；采用模糊规则自适应修正PCW的流量控制模型以及加热器的功率控制模型；将粗调节后的UPW经过远传管路，通入光刻机内部经过半导体制冷片调节后分为两路UPW注液，通过两个加热器分别对两路UPW注液加热；对UPW温度进行精调节时，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112445084 B (45)授权公告日 2021.11.30 (21)申请号 202011513098.2 G05D 23/20 (2006.01) (22)申请日

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