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- 2023-05-30 发布于四川
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本发明提供基片支承器和等离子体处理装置。本发明的基片支承器包括电介质部和至少一个电极。至少一个电极设置于电介质部之中，用于对载置于电介质部上的物体供给偏置电功率。本发明能够对搭载于基片支承器上的物体高效地供给偏置电功率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112466735 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 202010884511.X
(22)申请日 2020.08.28
(30)优先权数据
2019-1637
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