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用于沉积压电材料的系统、用于使用所述系统的方法以及用所述系统沉积的材料.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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用于沉积压电材料的系统、用于使用所述系统的方法以及用所述系统沉积的材料.pdf

    公开了一种允许倾斜c轴压电材料结构生长的沉积系统。所述系统集成了各种溅射模块以产生高质量膜，并且被设计成优化吞吐量，使其有助于大容量制造环境。所述系统包括两个或更多个工艺模块，所述两个或更多个工艺模块包括被构造成以倾斜c轴沉积材料的离轴模块和被构造成以法线入射沉积材料的纵向模块；中心晶圆转移单元，所述中心晶圆转移单元包括加载锁、真空室和机器人，所述机器人设置在所述真空室内并且被构造成在所述中心晶圆转移单元与所述两个或更多个工艺模块之间转移晶圆衬底；以及可操作地连接到所述机器人的控制单元。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115836141 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202080101877.3 (74)专利代理机构 北京连和连知识产权代理有

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